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*價格神視晶圓定位傳感器

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產(chǎn)品名稱: *價格神視晶圓定位傳感器

產(chǎn)品型號: -

產(chǎn)品展商: SUNX

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簡單介紹

*價格神視晶圓定位傳感器通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內側穿過FOUP直射操作人員，十分危險。 M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。

*價格神視晶圓定位傳感器的詳細介紹

*價格神視晶圓定位傳感器
傳感器可以從正前方、右側、左側、下方四個方向引出電纜?？筛鶕?jù)傳感器的設置情況靈活調節(jié)
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm，質量約為75g的小巧、輕盈型
中心測量距離 45mm
檢測物體 3英寸以上的半導體晶圓(注2)
可對應檢測面有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
輸出動作可用切換開關選擇入光時ON/非入光時ON
短路保護裝備(自動復位)
反應時間 500μs以下檢測角度 12.5±5°(注4)
晶圓間距間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10%　脈動P-P10%以下
消耗電流 65mA以下
工作狀態(tài)指示燈橙色LED(輸出ON時亮起)
穩(wěn)定指示燈綠色LED(穩(wěn)定入光時、穩(wěn)定非入光時亮起點燈)
定時器功能裝備約2ms固定斷開延遲定時器　有效/無效切換式
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。
而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測
M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，

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