喜開理安裝方式,CKD精密減壓閥

喜開理安裝方式,CKD精密減壓閥 本參考是將精密減壓閥直接安裝到氣缸時，根據(jù)供氣、排氣 流量和1個氣缸伸出 ? 縮回時的必須消耗流量計算出的動作速度。 如果超出精密減壓閥的能力使用時，可能會發(fā)生故障。

喜開理安裝方式,CKD精密減壓閥
功能介紹:
實施精密清洗（氣體接觸部分），在潔凈室內(nèi)進行從組裝到包裝的一條龍**。
接觸氣體部位不使用潤滑脂。
無潤滑脂規(guī)格、緊湊、省空間型的小型直動精密減壓閥。
通過使用快插接頭，提*了操作性。適用于要求省空間、精度、無潤滑脂的半導(dǎo)體制造的后工序、IT領(lǐng)域、小物件裝配等。
模塊集成閥MNRJB500系列可實現(xiàn)RJB500、RB500系列的混合集成閥。
【緊湊?大流量】
2次側(cè)不殘留壓力，重視安全性。（不施加背壓時）
采用禁油規(guī)格?不銹鋼閥體，半導(dǎo)體制造裝置或液晶制造裝置使用的清潔空氣、N2的壓力控制。
另外，由于緊湊?大流量，因此適合空氣（N2）吹氣。使用流體 潔凈壓縮空氣（參考第6頁的**空壓回路）
使用壓力 MPa 1.0
使用壓力 MPa 設(shè)定壓力＋0.1 注1
**耐壓力 MPa 1.5
環(huán)境溫度 ? 流體溫度 °C -5～60（不得凍結(jié)）
設(shè)定壓力范圍 MPa 0.01~0.7
靈敏度 全量程的0.2%以內(nèi)
重復(fù)性 全量程的±0.5%以內(nèi)
空氣消耗量 注2 /min(ANR) 0.2以下
配管口徑 Rc1/4
壓力表配管口徑 Rc1/8
重量 g 250 注3

流體通路部、快插接頭均以無潤滑脂為標(biāo)準規(guī)格。 適用于禁油用途。

【節(jié)能機構(gòu)】
采用可變常時釋放機構(gòu)。
可設(shè)定與使用壓力相匹配的耗氣量。
對邊50mm的緊湊尺寸，并實現(xiàn)了0.8?/min的大流量。
（1次壓力0.7MPa、設(shè)定壓力0.5MPa、壓力降0.1MPa時的流量）
在低壓范圍實現(xiàn)*靈敏度控制】
設(shè)定壓力為低壓用時0.01?0.2MPa，標(biāo)準時0.02?0.5MPa。
靈敏度為0.001MPa。
采用特殊膜片結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了低壓范圍內(nèi)的*靈敏度調(diào)整。
【帶可逆流功能】

具有排放1次側(cè)壓力時，2次側(cè)壓力向1次側(cè)逆流的功能。

喜開理安裝方式,CKD精密減壓閥